平台快速及微调1micron重复性的上下功能,搭配点针卡加功能可作元件Die Stepping的Die To Die应用,晶圆吸盘配置独特超大XY旋钮配置增加握感,使元件达到快速25mm/转及精细调整10micrn重复性,广受半导体厂及IC设计公司好评
Specifications:
- 平台上下可调
- 显微镜X-Y滑台
- 大旋钮精密滑台
- 供应到12英寸吸盘机型
平台快速及微调1micron重复性的上下功能,搭配点针卡加功能可作元件Die Stepping的Die To Die应用,晶圆吸盘配置独特超大XY旋钮配置增加握感,使元件达到快速25mm/转及精细调整10micrn重复性,广受半导体厂及IC设计公司好评